如果发生了工业高纯氦气泄漏，首先应做的是迅速撤离泄漏污染区人员上风处，并进行隔离，严格出入。
其次，现场的应急处理人员应当佩戴自给正压式呼吸器，并穿着一般作业工作服。
再者，要尽可能切断工业高纯氦气的泄漏源，并合理的进行通风，加速气体扩散。
当然，如果有可能的话，即时使用也是可以的。
需要注意的是，工业高纯氦气漏气的容器要进行妥善的处理，修复、检验后，再进行使用。
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