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学术论文
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  • 高纯电子级SiF4中氟硅醚阻聚剂的设计及其性能
    Pubdate:2020-10-19
    摘要:在高纯电子级四氟化硅生产与纯化中,很容易产生氟硅醚杂质,甚至可以与四氟化硅进一步聚合生成氟硅醚高聚物。该高聚物可从胶体迅速聚集成颗粒,很容易堵塞管道和吸附剂,极易发生安全事故。根据硅醚键氟化断裂的化学性质,设计了一系列基于金属氟化物组成的氟硅醚阻聚剂。结果显示,AgF2 阻聚剂具有阻聚热力学效率高、动力学速率快的特点,可以使氟硅醚杂质有效控制浓度在20...
  • 气体行业的发展情况
    Pubdate:2020-09-28
    摘要:气体的成分,主要靠空分生产出来。阐述了气体行业这些年的发展处于上升模式;内气体产业由弱变强的发展,市场用量也越来越大及发展的不足之处。关键词:气体;空气;电子气;分析仪器;安全;技术人员;设备;易燃气体;...
  • 八氟环丁烷的纯化技术研究进展
    Pubdate:2020-09-21
    摘要:随着电子工业的迅速发展,八氟环丁烷作为常用的半导体工艺蚀刻或清洗气体,其需求量日益增加,对其纯度要求也越来越苛刻。本文总结了现有应用最为广泛的四种八氟环丁烷纯化技术:精馏技术、吸附技术、化学转化法、膜分离技术,分析四种纯化技术各自优缺点。在实际生产中,根据八氟环丁烷中所含杂质的种类,选择合适纯化技术联用来获得高纯八氟环丁烷。此外,应不断开发新型、高效电...
  • 增强型等离子体放电检测器(EPD)的特点和应用
    Pubdate:2020-09-14
    Y·甲马什先生,ASdevices 的首席执行官兼首席技术官,是第一个稳定且选择型等离子放电检测器PED (plasma emission detector)的发明人。他在1992年发明了这项技术,共撰写专利120篇,覆盖了涉及到分析领域的30个项目。 详情请下载:增强型等离子体放电检测器(EPD)的特点和应用...
  • 发展中的中国特种气体
    Pubdate:2020-09-06
    摘要:介绍了2018年中国特气的发展,展望了中国特种气体的发展未来,强调我国特种气体走自足发展、正规化、规模化、国际化的重要性。 详情请下载:发展中的中国特种气体...
  • 放电离子化检测器在特气行业的应用
    Pubdate:2020-08-20
    特气,全称特种气体,是指那些在特定领城中应用的,对气体有特殊要求的纯气,高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多,通常可区分为电子气体,标准气,环保气,医用气,焊接气,杀菌气等,广泛用于电...
  • SPC分析在特种气体行业的应用
    Pubdate:2020-08-12
    摘要:统计过程控制(Statistic process control, SPC) 主要用于汽车行业及其供应商,包括半导体和特种气体行业。介绍了汽车行业质量管理体系标准IATF16949: 2016的核心管理理...
  • 氢中微量氧的测定一电子捕获气相色谱法
    Pubdate:2020-08-05
    阐述了采用电子捕获气相色谱法测定氢中微量氧含量,该方法准确、快速、可靠、便于操作。 详情请下载:氢中微量氧的测定一电子捕获气相色谱法...
  • 气相色谱氢火焰离子化检测器直接进样测定食品级二氧化碳中ppb级苯
    Pubdate:2020-07-27
    摘要:介绍了以GDS——D03 痕量气体分析仪及特殊填充的色谱柱,直接进样分析检测气体中的痕量苯的方法。通过实验条件的筛选,检测限可达5ppb。方法稳定可靠,满足了食品级二氧化碳中的质量控制需求。 ...
  • 高纯氟甲烷中杂质含量色谱分析
    Pubdate:2020-07-20
    摘要:高纯氟甲烷作为新型的含氟电子气体,常温下是一种无毒、 无色、无嗅、可燃的存储在钢瓶中的液化气体。-氟甲烷作为刻蚀气体对纯度要求甚为严格,往往需要大于99.99%,甚至99.999%。本文探讨了高纯氟甲烷的...

 
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