近日，杭州福斯达深冷装备股份有限公司(福斯达)为海外半导体产业链客户定制打造的两套4000Nm³/h高纯制氮装置，圆满完成全流程调试与性能验收，正式交付投用。依托成熟的深冷技术与一体化成套装备实力，福斯达凭借定制化供气方案，为海外高端电子制造搭建稳定、高效的气源保障体系。

严苛标准打造，匹配半导体高端工况

整套装置全程对标国际严苛技术体系打造，方案设计、工艺选型、设备制造、整机测试各环节经过多轮技术推演与校验，以精益求精的品质标准，充分匹配半导体高端精密生产严苛工况需求。

耦合工艺路线，产出电子级高纯氮气

工艺层面，装置采用分子筛双塔循环吸附再生+低温精馏耦合路线：双塔循环结构提升原料气提取率，有效降低运行能耗；搭配真空绝热冷箱最大限度减少冷量损耗；通过深冷精馏利用沸点差异完成终极提纯，产出氮气氧含量稳定在1ppm级以下，达到电子级工业标准，可持续为晶圆制造、封装测试等高洁净工序提供持续稳定的保护气源。

一体化撬装设计，大幅降低海外施工压力

结合海外项目建设痛点，整机采用一体化撬装集成方案设计。吸附塔、深冷冷箱、阀门管道、在线分析仪表及智能主控系统全部集成于标准撬座之上。工厂内提前完成总装与联调联试，项目现场只需对接公用工程管线即可快速投用，显著缩短海外施工周期、降低现场安装成本。同时设备搭载智能化程控运行平台，支持一键启停、工况自动切换、纯度闭环调节与故障自诊断，可实现长期无人值守连续运行，全方位保障全年供气不间断。

对标国际规范，提供一站式成套解决方案

针对海外市场准入要求，福斯达组建专项技术团队，在压力容器设计、焊接工艺评定、安全泄放计算、抗震支撑设计等方面全面对标当地法规标准，提供方案设计、装备制造、现场指导、到后期运维的一站式解决方案。

福斯达表示，两套高纯制氮装置的成功交付，是公司“技术出海、品质立身”发展理念的又一重要成果。立足“四五战略”新布局，未来福斯达将持续深耕气体分离核心技术，以更成熟的国际化制造能力与更完善的全周期服务体系，为全球客户持续输出可靠的工业气体一体化解决方案。