当地媒体报道，6月21日上午，合肥先微半导体材料有限公司位于新站的生产基地正式投产。这也标志着合肥新站高新区集成电路大家庭正在加速壮大。值得一提的是，该公司生产的部分电子特种气体，可填补国内空缺。

合肥先微半导体材料有限公司总部位于合肥市新站高新区，其中合肥新站生产基地位于珠城西路与通宝路交口西北角。

公司董事长董宜忠介绍，该公司是一家专注于气体研究、生产、储运的专业服务商，主要产品有高纯电子特种气体、高纯电子混合气体、超纯气体、工业气体等，从合成、吸附、精馏、提纯到分装等生产工艺全涵盖。

该公司在合肥肥东、六安叶集还有两个生产基地。“产品广泛应用于集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、太阳能、汽车等行业。”

电子特种气体是半导体产业的“命脉”，其稳定供应直接关系到芯片生产的连续性与产品良率。近年来，在国家政策的重点支持下，集成电路、显示面板、LED、光伏等下游电子半导体高新技术产业高速发展，逆向带动了电子特气用气需求的持续增长。

新投产的生产基地项目聚焦高纯度电子特种气体的规模化生产，投产后可实现晶合等本地客户就近服务、就近响应，进一步完善新站集成电路产业生态，增强区域内集成电路企业的气体供应保障能力。

董宜忠表示，下半年可能还会再申请一些产品种类，在新站高新区打算增加20种电子特气，有些跟电子特气相关的前驱体会做一些投入。

公开资料显示，项目投资：50205.9万元，建设生产车间、分析车间、综合楼、仓库及配套污染治理设施等，投产后可形成纯化四氯化硅(4N)300吨/年、三氯化硼(5N)200吨/年、二氯硅烷(4N)200吨/年、三氟化氮(5N)500吨/年、氮气(6N)300吨/年、氯气(6N)300吨/年、氯气(6N)10吨/年、二氧化碳(5N)100吨/年、氧气(6N)200吨/年、氢气(6N)20吨/年，混配磷烷+氢气混合气2.214吨/年(2650瓶年)、乙硼烷+氢气混合6.3吨/年(3000瓶/年)、氟气+氮气混合气6.09吨/年(1000瓶/年)、准分子激光气123.98吨/年(28000瓶/年)，分装二氧化碳10000吨/年、液氮/氮气3000吨/年、液氯/氩气3000吨/年、液氦/氦气50吨/年、氟气+氮气混合气(900瓶/年，100台管束车/年)、磷烷+氢气混合气350瓶/年，超洁净钢瓶年处理20000只/年的生产能力。